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公 司: 青島晨立電子有限公司
發(fā)布時間:2024年10月23日
有 效 期:2025年04月24日
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公 司:青島晨立電子有限公司

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詳細說明

    擴散爐系列設備用途:用于大規(guī)模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光 電器件、光導纖維等行業(yè)的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。 設備特點:單元組合方式。根據(jù)工藝的不同,可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。

主要技術指標:

★ 爐管數(shù): 1~4管

★ 配工藝管口徑:Φ90~360 mm (3~12英寸)

★ 恒溫區(qū)長度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)

★ 單點穩(wěn)定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)

★ 氣源路數(shù): ≤7路,可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器

★ 氣體控制: 浮子/質量流量計

★ 懸臂舟參數(shù): 速度: 20~1000 mm/min *大行程:2000 mm 定位精度:±1 mm *大載荷:17 Kg

★ 超凈工作臺: 凈化等級:100級(萬級廠房)噪音: ≤62dB(A)振動: ≤3μ


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