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供應SIC高溫氧化爐-氧化擴散爐-科研電爐晨立電子

供應SIC高溫氧化爐-氧化擴散爐-科研電爐晨立電子_青島晨立電子有限公司_供應SIC高溫氧化爐-氧化擴散爐-科研電爐晨立電子

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公　司：青島晨立電子有限公司

發布時間：2024年10月23日

有效期：2025年04月24日

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姜經理先生 (銷售)

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電　　話： 0532-88533525 傳　　真： 0532-67720618 手　　機： 13869885308 地　　址：中國山東即墨市山東省青島市即墨區泰山三路285號聯東U谷即墨科技創新谷3號樓郵　　編： 266200
公司主頁：	http://chenlidianzi.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

擴散爐系列設備用途：用于大規模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光電器件、光導纖維等行業的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。設備特點：單元組合方式。根據工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。

主要技術指標：

★ 爐管數： 1～4管

★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)

★ 恒溫區長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★ 單點穩定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)

★ 氣源路數： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器

★ 氣體控制：浮子/質量流量計

★ 懸臂舟參數：速度： 20～1000 mm/min *大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm *大載荷：17 Kg

★ 超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）噪音： ≤62dB（A）振動： ≤3μ

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