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供應(yīng)碳化硅氧化爐真空退火爐高溫?cái)U(kuò)散爐青島晨立電子有限公司

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公　司：青島晨立電子有限公司

發(fā)布時(shí)間：2024年10月23日

有效期：2025年04月24日

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電　　話： 0532-88533525 傳　　真： 0532-67720618 手　　機(jī)： 13869885308 地　　址：中國山東即墨市山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號(hào)聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號(hào)樓郵　　編： 266200
公司主頁：	http://chenlidianzi.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細(xì)說明

一、設(shè)備結(jié)構(gòu):
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求

4、自動(dòng)化程度:工控機(jī)控制系統(tǒng)自動(dòng)控制工藝流程
5、送取片方式:手動(dòng)進(jìn)出舟。
6、外形:主機(jī)1臺(tái)，主機(jī)架為臥式兩管。
二、主要技術(shù)參數(shù):
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片�？上蛳录嫒�5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒溫區(qū)長度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機(jī)統(tǒng)一管理工藝
5、氣路設(shè)置:每管兩路氣體:氮?dú)?00L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動(dòng)控制流量大小。

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