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供應(yīng)碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫?cái)U(kuò)散爐 青島晨立電子有限公司 供應(yīng)碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫?cái)U(kuò)散爐 青島晨立電子有限公司_青島晨立電子有限公司_供應(yīng)碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫?cái)U(kuò)散爐 青島晨立電子有限公司

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公 司: 青島晨立電子有限公司
發(fā)布時(shí)間:2024年10月23日
有 效 期:2025年04月24日
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公 司:青島晨立電子有限公司

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詳細(xì)說明

    一、設(shè)備結(jié)構(gòu):
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求


4、自動(dòng)化程度:工控機(jī)控制系統(tǒng)自動(dòng)控制工藝流程
5、送取片方式:手動(dòng)進(jìn)出舟。
6、外形:主機(jī)1臺(tái),主機(jī)架為臥式兩管。
二、主要技術(shù)參數(shù):
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片?上蛳录嫒5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒溫區(qū)長度及精度:600mm,
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機(jī)統(tǒng)一管理工藝
5、氣路設(shè)置:每管兩路氣體:氮?dú)?00L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動(dòng)控制流量大小。


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