Pinnacle+Plus擁有堅硬的花崗巖支撐結(jié)構(gòu)和高性能的Z軸移動組件，使測量微電子零件和組件時產(chǎn)生盡可能低的不確定性.
好的線性馬達(dá)控制技術(shù)造就了運行速度快,可靠的免維護(hù)平臺,滿足了從無塵室到工廠車間的生產(chǎn)環(huán)境中,大容量,高性能的操作。
特征：
X,Y,Z 行程 (毫米)：250 x 150 x 50
X,Y,Z 光柵尺分辨率：XY - 0.05 μm, 零膨脹材料，Z - 0.01μm, 零膨脹材料
平臺驅(qū)動系統(tǒng)：無摩擦高速線性馬達(dá)驅(qū)動 X&Y, 直流伺服馬達(dá)驅(qū)動 Z
速度：X,Y - 100 mm/sec   /   Z - 25 mm/sec
承載量：25 kg
光學(xué)系統(tǒng) ：單倍放大, 工廠安裝背光的鏡頭和視場交換式前透鏡標(biāo)配為VIEW 1X 背管，5X鏡頭
計量軟件
可選項: Elements
可選項Measure-X
可選項軟件模塊:
區(qū)域多點自動ju jiao
連續(xù)捕獲圖像 (CIC)
好的圖像濾光和圖像拼接，自定義
UI操作軟件
MeasureFit   Plus
SmartProfile
3D GD&T 評估軟件
VMS 離線編程軟件
數(shù)字輸入/輸出Digital I/ |
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