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供應高溫擴散爐-氧化爐

供應高溫擴散爐-氧化爐_青島晨立電子有限公司_供應高溫擴散爐-氧化爐

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公　司：青島晨立電子有限公司

發布時間：2024年10月22日

有效期：2025年04月23日

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姜先生先生 (銷售經理)

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電　　話： 0532-88533525 傳　　真：手　　機： 13954285618 地　　址：中國山東即墨市山東省青島市即墨區泰山三路285號聯東U谷即墨科技創新谷3號樓郵　　編：
公司主頁：	http://m18612520901.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

一、擴散爐用途

　　擴散爐是我公司根據客戶需求個性化專業定制的高溫熱處理設備，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，我公司的高溫電爐關鍵部件全部采用進口部件，仿國外先進熱處理制造技術，已經被中科院、國內各大院校、國內多家知名廠家選為長期供貨商，專業團隊設計制造，可根據客戶不同需求定制，廠家直接供貨，質優價廉。

　　二、擴散爐特點

　　◆軟著陸載片裝置軟著陸送料裝置，避免了SiC槳的遮擋影響，提高了擴散均勻性，同時槳的清洗周期大幅度延長。

　　◆高精度溫度控制新型爐體設計，提高了溫度穩定性；配合高精度溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩定。

　　◆高性能進口元器件組合關鍵件采用進口管件，且為半導體級別；優質的元器件組合，從而保證成膜質量。

　　三、擴散爐主要技術參數

　　◆工藝管數量：1-4管

　　◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

　　◆工作溫度范圍：400～1280℃

　　◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm

　　◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

　　◆氣體流量設定精度:±1％F.S

　　◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

　　◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房）噪音：≤62dB（A）震動：≤3μm

　　◆控制方式：工業微機控制

　　◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制

　　我公司可根據客戶要求，專業定制各式擴散爐、退火爐、燒結爐、真空焊接爐、CVD爐、加熱電爐及加熱裝置等，歡迎廣大客戶來電咨詢。

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