因產(chǎn)品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準(zhǔn)。
HVA 矩形閥 88200 系列
HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國 HVA 矩形閥門 88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動技術(shù)的接口閥，可靠使用壽命超過1百萬次。HVA 閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng)，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設(shè)計緊湊，可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點
1. 超百萬次可靠運行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計
3. 閥動作平穩(wěn),振動和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
HVA 88200 系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)
連接形式：
標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭
主體材料：
鋁
公稱通徑：
DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250
漏率:
2x10E-9 AtmCC/Sec
壓力范圍:
1x10E-9 Torr
烘烤溫度:
《150℃
適用介質(zhì)：
水、蒸汽、空氣
密封形式：
軟密封型
驅(qū)動方式：
氣動
使用壽命:
1000000 啟閉次數(shù)
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