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供應半導體超純水設備

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公　司：上海濱潤環保科技有限公司 

發布時間：2024年09月13日

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詳細說明

半導體EDI超純水設備
隨著半導體、電子行業的技術發展，對水處理設備的需求也越來越廣泛，國內外超純水設備的技術也獲得了飛速的發展和廣泛的應用，涌現出一大批超純水處理方面領域的公司企業，。目前國內的超純水制備行業正處于快速的發展階段，但是相比國外的發展水平仍有很大的差距。隨著國內半導體生產線的普及，超純水制備設備的需求越來越大，目前國內的現代超純水水質以電阻率、TOC（總有機碳）、細菌、微粒、DO（溶解氧）、可溶硅、離子和金屬雜質等參數來表征，它們對器件影響大。因此，這就需要設計一臺能夠制備滿足指標要求的浸沒液超純水處理系統，以保證光刻機的正常運行。超純水處理系統是制備超純水的自動控制系統，在光刻機中它作為浸沒控制系統中的子模塊，主要負責對超純水的制備，對超純水污染物質進行處理，并達到浸沒供給液各項指標要求。

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