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氦質譜檢漏儀激光器零件檢漏
上海伯東客戶某生產航天和半導體相關精密零件公司, 近日通過伯東推薦, 采購移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 主要用于激光器零件檢漏.
激光器零件檢漏: 應用于航天的激光器零件, 中空夾層設計, 僅在兩端焊接密封, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
激光器零件檢漏方法: 利用氦質譜檢漏儀 ASM 390 真空法對激光器零件進行檢漏, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
1. 激光器一端密封, 一端通過訂制夾具和波紋管與氦質譜檢漏儀 ASM 390 連接
2. 在操作面板設置真空模式下漏率值, 啟動檢漏儀 ASM 390, 在兩端焊縫處噴氦氣, 如果有漏, 檢漏儀聲光報警并在面板上顯示當前漏率值.
上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390
檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵
檢測氣體: 4He, 3He, H2
*小檢測漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
對氦氣的抽速: 10 l/s
前級泵抽速: 35 m3/h
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