敝司代理centrotherm的各種爐子，比如
1.真空焊接爐c.VLO-Series適用大批量的生產，焊接過程中的溫度范圍可高達450°C以上，客戶應用領域涵蓋：MEMS，Mosfet、IGBT，先進的封裝和光電領域。
2.擴散爐c.Verticoo Mini /c.Verticoo200多達5層堆疊的石英或碳化硅工藝爐管，可靈活選配工藝爐管，每個爐管之間不存在熱干擾，先進的水冷卻系統，一體化爐管控制系統。
3.PECVD/LPCVD的c.Horicoo200/300系統是管式系統，采用平行式石墨舟和低頻（40KHZ)激發等離子體放電。在低壓和高溫的條件下，等離子體在石墨舟的石墨電極之間激發。對硅片具有表面鈍化和體鈍化的雙重功能。
4.氧化爐c.OXIDATOR150工藝溫度從900℃到1500℃，高氧化質量，N2O和NO氧化物氮化，占地面積小，所有無金屬加熱器和絕緣
批量可達50片晶圓，現場氯氣清洗。
5.退火爐c.Activator150/c.RAPID200高激活率，極小表面粗糙度(需適當的C-cap)，*高溫度可達2000 °C，能持續運行≤1600 °C，升溫速率高達100 K/min，批量處理2“,3“,100 mm,150 mm碳化硅晶圓，批量一次工藝可達50片(150 mm)，真空<10-3 mbar(選配)，溫度自動校準。 |
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