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供應刻蝕機NLD-570

供應刻蝕機NLD-570_青島泰斯邁儀器設備有限公司_供應刻蝕機NLD-570

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公　司：青島泰斯邁儀器設備有限公司

發布時間：2021年09月22日

有效期：2022年03月21日

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張女士女士 (商務)

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電　　話： 0532-82021500 傳　　真：手　　機： 17685756785 地　　址：中國山東青島市山東省青島市市北區興隆路167號郵　　編：
公司主頁：	http://tesmysemi.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

產品簡介：
研究開發向NLD干法刻蝕設備NLD-570，是搭載了愛發科開創的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術可實現產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。。

產品特性：
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工

• 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優異的刻蝕性能

• 石英及玻璃作為厚膜resist mask時的也可實現深度刻蝕（100μ m以上）

• 可實現高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）

• 可追加cassette室

產品應用：
• 光學器件（光衍射格子、変調器、光開關等等）、凹凸型微透鏡

• 流體路徑作成或光子學結晶

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聯系人：張女士電話：0532-82021500

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