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Pfeiffer 分子泵 HiPace 1500
上海伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1500, 抽速可達 1450 l/s 的高性能渦輪分子泵. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54. 帶有氣體密封閥 24 V DC 的集成型氣體密封系統.
渦輪分子泵 HiPace 1500 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統
上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1500 適用于半導體, 鍍膜, 工業和研發行業.
若您需要進一步的了解分子泵詳細信息, 請聯絡上海伯東鄧女士，分機13 |
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