伯東企業（上海）有限公司作為德國 Pfeiffer 真空設備, 美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀, 美國 KRi 離子源, 美國 HVA 高真空閘閥, 等國際知名進口真空品牌的指定代理商, 參展 SemiCon China 2023 上海半導體展！
上海伯東憑借多年真空經驗, 在提供合適的產品同時更為您提供各類真空工藝的解決方案, 協助您優化工藝過程, 提高生產效率! 上海伯東期待您的蒞臨！
【參展時間】: 2023年6月29-7月1日
【地點】: 上海新國際博覽中心
【伯東展位】: E3號館, 3369 位置
上海伯東展位號 E3369
上海伯東
在現場, 我們為您詳解適用于半導體行業的各類產品！
德國 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 390
專為半導體, 鍍膜行業研發
完全符合 Semi S2 標準
大抽速, 干式, 方便移動
氦質譜檢漏儀 ASM390
德國 Pfeiffer 大抽速渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT
高抽速, 高氣體吞吐量
對工藝沉積的抵抗力強
提供耐腐蝕型號
普發分子泵
美國 KRi 大口徑射頻離子源
3層柵極設計, 柵極口徑 38cm
提供離子動能 100-1200eV 寬束離子束, *大離子束流 > 1000mA
滿足 300 mm (12英寸)晶圓刻蝕
適用于離子刻蝕, 濺射沉積
美國 KRi 離子源
美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀 ATS-710E
溫度范圍 °C: -75至+225 50Hz
防靜電設計, 自動除霜
支持 Ethernet, IEEE-488, RS232
高低溫沖擊熱流儀
美國 Thermonics Process Chillers 超低溫冰水機
提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機
用于冷卻工藝過程中的氣體和液體
適用于半導體前端和后端各類工藝冷卻
thermonics 超低溫冷水機
美國 HVA 超高真空閘閥 11000 系列
口徑: DN 16 - 800 mm
極限壓力: 高真空 1x10-9 mbar; 超高真空 1x10-10 mbar
6寸, 8寸 真空插板閥廣泛應用于半導 |
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