HTGB高溫柵偏測試系統
HTGB高溫柵偏測試系統是唯一一款動態HTGB測試系統。其優點是軟件控制的測試過程、大量的測試設備和調整試驗參數的靈活性。該系統用高壓變化來刺激被測器件的柵極在許多應用中,特別是在新技術方面。用高壓變化對器件參數的影響在靜態HTGB測試中是看不到的。對于像碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)這樣的新型寬禁帶器件來說,這種動態HTGB技術尤其重要。
這套測試系統提供了柵閾值電壓的現場(就地)測量。通過中斷刺激,切換到測量電路,然后繼續刺激全自動。每個DUT停止刺激和測量之間的時間是恒定的,以避免不同結果的影響。沒有這些預防措施,可重復性和可比性設備會有限制。
全自動測量取代了通常需要的手動測量讀數節省時間和成本,同時提高觀察視野。測量的閾值電壓分為Vth(向上)和Vth(向下),每一個都有一個可配置預處理階段。
測試通道:
工作臺:10,20,40個
機架(42 U): 40、80、120、160、200、240 DUT:
全自動原位Vth測量:
測量時間間隔
可定制的門刺激曲線(預處理)
將測量數據記錄到TDMS文件中
測試參數:
總測試時間(0-1500h)
外加漏極電壓(0V-2000V)
冷熱板溫度:20℃-200℃
門刺激V+ (0V-30V)、V- (-15V-0V)
門頻率(100Hz - 200kHz)
Vth測量間隔(10秒)
V測量電壓曲線
工作原理:
所設置的測試系統對高du/dt的柵極進行刺激,以測試這些效應的影響。
頻率比應用中更快,以加速測試。
采用多次原位測量,顯示了趨勢和漂移。
應用背景
•寬頻帶器件(SiC/GaN)在暴露于高du/dt時顯示出新的效果。
•這些效果會影響DUT的關鍵特性,從而影響應用
•常規測試(H(3)TRB/HTGB)不存在這些影響
•全球標準化組織都在致力于發布動態測試標準
•作為德國汽車半導體工作組(ECPE AQG 324)的一部分參與該過程。
動態高溫柵偏置功率半導體可靠性測試系統采用模塊化設計,使其可擴展性從 40 個DUT到240個DUT的單個機架。這樣就可以在較小的占用空間上進行 |
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