晶圓超純水設備價格_系統價格哪家好 企業在生產過程中,很多行業對水質的要求比較高,普通的水源無法滿足企業的生產需求。超純水設備具有出水水質高、可不間斷產水、自動化控制、無污水排放等特性,深受生產企業的喜愛。
晶圓用超純水設備樹脂再生工藝
樹脂在使用一段時間后,吸附的雜質接近飽和狀態,就要進行再生處理,使之恢復原來的組成和性能。目前國內樹脂的再生常用化學藥劑酸堿法使失效的樹脂恢復交換能力,酸的使用通常采用HCl或H2SO4,調配濃度為3-5%左右,堿的使用一般采用NaOH,調配濃度為3-5%左右。
一、反洗分層:
反洗流速10米/時,反洗時間15分鐘,以沉降后陽,陰樹脂層界面是否清晰判別分層效果。
二、進再生液:
用20分鐘左右的時間泵完所需的再生液,浸泡2-3個小時后采用正洗的方法,陰樹脂沖洗至出水堿度PH=8-9左右,陽樹脂沖洗至出水酸度PH=5-6左右。
三、混合:
從底部進入氮氣(也可用壓縮空氣,真空抽氣等)進行混合,進氣壓0.1~0.15MPa,進氣量2.5~3.0米3/(米2•分),混合時間一般為5~10分鐘,以柱內樹脂充分混合為終點。
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