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微波等離子體化學(xué)氣相沉積微波氣相沉積3KW6KW微波等離子電源可調(diào)

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發(fā)布時(shí)間：2020年11月18日

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微波等離子體化學(xué)氣相沉積微波氣相沉積3KW6KW微波等離子電源可調(diào)
PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD).可以沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等.

6KW 3KW 微波等離子體電源是根據(jù)微波等離子體氣相沉積實(shí)際生產(chǎn)操作中的實(shí)際要求進(jìn)行訂制設(shè)計(jì)生產(chǎn)，符合產(chǎn)品生長要求，調(diào)節(jié)精度要求，歡迎淺談咨詢訂購測試。

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