低溫等離子體反應區富含極高的物質,如高能電子、離子、自由基和激發態分子等,廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應,使污染物質在極短的時間內發生分解,并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較,低溫等離子體技術放電密度是電暈放電的一千五百倍。
等離子體去除污染物的基本過程
過程一：
高能電子的直接轟擊
過程二
O原子或臭氧的氧化O2+e→2O
過程三:
OH自由基的氧化
過程四
分子碎片+氧氣的反應
（3）產品性能綜述
低溫等離子體工業廢氣處理設備的發明為化工清潔生產奠定了基礎,是近代化學工業生產的一次技術革命。
與目前國內常用的異味氣體治理方法相比較,低溫等離子體工業廢氣處理技術具有以下特點：
A介質阻擋放電產生電子能量高,低溫等離子體密度大,達到常用等離子技術（電暈放電)的一千五百倍,幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；
B反應速度快,氣體通過反應區的速度達到3-15米/秒,即達到很好的處理效果, 其他技術氣體通過反應區的速度0.01米/秒都很難達到處理效果；
C氣體通過部分,全部采用陶瓷、石英、不銹鋼等防腐蝕材料,電極與廢氣不直接接觸,根本上解決了低溫等離子體技術設備腐蝕問題；其他技術是氣體與電極直接接觸,電極在3個月或1年內會造成嚴重腐蝕,即使通過的氣體沒有腐蝕性,自身所產生的臭氧也會把電極造成腐蝕;
D主機為成套工業廢氣處理裝置,前面配有專用塔,能有效去除廢氣中的粉塵和水分,操作簡單
【適用范圍】
（1）適應范圍廣泛，對VOCs有機廢氣、非甲烷總烴、以及《國家惡臭污染控制標準》中規定的八大惡臭物質（氨、硫化氫、二硫化碳、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、三甲胺、苯乙烯）以及苯、甲苯等廢氣均能有效治理凈化，特別適合處理各種惡臭廢氣、腐臭廢氣、廢水污水惡臭氣體等。 |
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