功能 流量計/控制器
基本型號 MT-30A
滿量程流量范圍(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
±2(＞15SLM.)
控制閥動作型式 常閉式
線性(％F.S.) ±0.5～1(≤15SLM)
±2％(＞15SLM.)
重復精度(％F.S.) ±0.2
響應時間(sec) ≤1
流量輸出信號 0-+5.00V
流量設定信號 0-+5.00V
電器接頭 DB15 pin(接頭)
工作環境溫度 (℃) 5～45
工作壓差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
******耐壓 3MPa
介質接觸材質 304，316，316L
密封材料 氟橡膠，硅橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯
接頭 VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 0.75K |
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