API激光跟蹤儀在半導體行業的應用
ASYS公司使用API激光跟蹤儀測量自動化供應系統
位于紹恩多夫的ASYS自動化系統公司負責為半導體行業和微結構技術研發處理系統。ASYS設計和制造的機器人（包括真空室）可作為獨立或者完整的供應系統用于真空或清潔室應用中。如今半導體已無處不在，沒有半導體電氣產品就無法正常工作，而半導體的生產則需要一個防護型生產環境，或能夠對有毒的生產過程進行防護的環境。聯系電話：186-0138-1355.
質量和潔凈度
半導體對生產環境的要求相當嚴苛。除了真空度和潔凈度外，處理系統的動態特性（如重復性和定位精度）也非常重要。由于處理系統在工作時始終處于運動狀態，所以其動態特性也再次為測量技術提出了非常特殊的挑戰。由于即使是*先進的三坐標測量機也無法進行動態測量，所以ASYS采用激光跟蹤儀對處理系統進行校準。
真空
半導體產品和微結構技術產品是在隔離的環境（如真空環境、保護性氣體環境或者指定潔凈度等級的環境）中通過復雜的制造工藝生產出來的。用于半導體行業的機器人設備需要 將不同的工藝步聚連接在一起，并能夠在上述環境中精確運行。由于油漆會釋放出氣體，干擾極其敏感的生產過程，所以真空環境內是不允許噴涂油漆及其它化學物質的。另外，由于真空室就像一個具有良好絕緣特性的保溫瓶，其內部熱量很不容易散去，會對機械和化學處理工藝造成影響，所以對真空環境進行熱量控制也很重要。 |
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