API激光跟蹤儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
ASYS公司使用API激光跟蹤儀測量自動化供應(yīng)系統(tǒng)
位于紹恩多夫的ASYS自動化系統(tǒng)公司負(fù)責(zé)為半導(dǎo)體行業(yè)和微結(jié)構(gòu)技術(shù)研發(fā)處理系統(tǒng)。ASYS設(shè)計和制造的機(jī)器人（包括真空室）可作為獨立或者完整的供應(yīng)系統(tǒng)用于真空或清潔室應(yīng)用中。如今半導(dǎo)體已無處不在，沒有半導(dǎo)體電氣產(chǎn)品就無法正常工作，而半導(dǎo)體的生產(chǎn)則需要一個防護(hù)型生產(chǎn)環(huán)境，或能夠?qū)τ卸镜纳a(chǎn)過程進(jìn)行防護(hù)的環(huán)境。聯(lián)系電話：186-0138-1355.
質(zhì)量和潔凈度
半導(dǎo)體對生產(chǎn)環(huán)境的要求相當(dāng)嚴(yán)苛。除了真空度和潔凈度外，處理系統(tǒng)的動態(tài)特性（如重復(fù)性和定位精度）也非常重要。由于處理系統(tǒng)在工作時始終處于運動狀態(tài)，所以其動態(tài)特性也再次為測量技術(shù)提出了非常特殊的挑戰(zhàn)。由于即使是*先進(jìn)的三坐標(biāo)測量機(jī)也無法進(jìn)行動態(tài)測量，所以ASYS采用激光跟蹤儀對處理系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)。
真空
半導(dǎo)體產(chǎn)品和微結(jié)構(gòu)技術(shù)產(chǎn)品是在隔離的環(huán)境（如真空環(huán)境、保護(hù)性氣體環(huán)境或者指定潔凈度等級的環(huán)境）中通過復(fù)雜的制造工藝生產(chǎn)出來的。用于半導(dǎo)體行業(yè)的機(jī)器人設(shè)備需要 將不同的工藝步聚連接在一起，并能夠在上述環(huán)境中精確運行。由于油漆會釋放出氣體，干擾極其敏感的生產(chǎn)過程，所以真空環(huán)境內(nèi)是不允許噴涂油漆及其它化學(xué)物質(zhì)的。另外，由于真空室就像一個具有良好絕緣特性的保溫瓶，其內(nèi)部熱量很不容易散去，會對機(jī)械和化學(xué)處理工藝造成影響，所以對真空環(huán)境進(jìn)行熱量控制也很重要。 |
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