薄膜晶體管液晶顯示器廠房設施要求:
薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計應滿足薄膜晶體管液晶顯示器生產所需要超大空間潔凈環境的要求。
生產的主要工序應完整、配套,陣列、彩膜和成盒工序段宜設置在同一廠區內。
潔凈區內位于搬運通道的高架地板應滿足設備搬運荷載要求。
薄膜晶體管液晶顯示器工廠廠房的耐火等級不應低于二級。
陣列、成盒、彩膜、模組廠房的潔凈室,在關鍵工藝設備自帶火災報警和滅火裝置以及在回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的早期煙霧探測系統后,其每個防火分區的*大允許建筑面積可按生產工藝要求確定。
凈化空調系統分開設置的原則除應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定外,還應符合下列規定:
1 溫、濕度基數差別大的潔凈室應分開設置凈化空調系統;
2 溫、濕度允許波動范圍差別大的潔凈室應分開設置凈化空調系統。
布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產區的風管、水管應采取減振措施。
潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備均應設局部排風裝置,排風罩宜為密閉式。
換鞋間應設置不低于10次/h的全室排風系統,排風口宜設置在下部;換鞋柜宜設置局部排風措施;一次更衣間宜設置不低于5次/h的全室排風系統。
風機過濾器機組的設置應符合下列規定:
1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用;
2 宜采用直流調速電機;
3 機組應采取消音措施,消音裝置不得采用產塵材料,且其燃燒性能等級應達到B級;
4 潔凈度等級為7級~9級的潔凈室(區)不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器;
5 應便于安裝、維修及過濾器更換。
當采用新風處理機組+風機過濾器機組+干冷卻盤管的凈化空調系統時,潔凈區各部位的風速應符合下列規定:
1 上技術夾層不應大于4m/s;
2 下技術夾層不應大于3m/s;
3 回風夾道不應大于4m/s。 |
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