LED無塵車間生產環境要求：
潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據生產工藝對生產環境的要求確定。
當出現下列情況之一時，空氣凈化調節系統宜分開設置：
1 生產工藝中散發的物質對其他工序的產品質量及人員安全衛生有影響；
2 溫濕度基數和允許波動范圍差別大的潔凈室；
3 凈化空調系統和一般空調系統；
4 潔凈室內工藝設備發熱、散濕量相差懸殊的潔凈室；
5 系統風量過大的凈化空調系統。
潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備，均應設局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。
排風系統的設計應符合下列規定：
1 金屬有機化合物化學氣相沉積設備的尾氣應設就地處理裝置；
2 酸、堿排風應獨立設置系統，風機的電機應按一級負荷供電；
3 工藝設備的排風系統應設置備用風機；
4 有冷凝液產生的酸、堿排風系統風管宜設置坡度和排液口，且風管系統應采取防液體滲漏措施；
5 金屬有機化合物化學氣相沉積設備的排風系統應采取防火、防爆措施；
6 酸、堿、硅烷排風系統的風管不應穿越防火墻或通風、空氣調節機房的隔墻和樓板，當必須穿越時，不得設置熔片式防火閥；
7 酸、堿排風系統的風機應設在廢氣處理設備的下風側；
8 工藝設備的排風溫度高于60℃時，排風管應設保溫措施；
9 工藝設備局部排風系統的室外風管應根據當地氣象條件設置防結露保溫措施；
10 潔凈室的排風系統應設置防止室外氣流倒灌的措施。
換鞋間應設置不低于10次／h的全室排風系統，排風口宜設置在下部；換鞋柜宜設置局部排風措施；一次更衣間宜設置不低于5次／h的全室排風系統。
凈化空氣調節系統的新風應進行集中處理，新風處理機組的設置應符合下列規定：
1 送風機應采取自動調速措施；
2 空氣宜經過粗效、中效、高效過濾器三級處理；
3 新風處理機組應有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大于1％。
光刻間凈化空氣調節系統的循環風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調節系統的循環風宜采用循環空氣處理機組處理。
金屬有機化合物化學氣相沉積間的凈化空氣調節系統應獨立設置。
循環空氣處理機組宜采用干冷卻方式處理空氣。
循環空氣處理機組的風機應采取自動調速措施。
潔凈生產層凈高應按照生產設備和物料運輸設備尺寸、微環 |
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