光纖器件無塵車間空氣凈化系統(tǒng)要求:
光單元生產(chǎn)車間溫度宜保持在15度～28度，相對濕度宜保持在40%～70%。
光柵光刻車間潔凈度不應(yīng)低于7級，平面波導(dǎo)型光纖耦合器耦合車間潔凈度不應(yīng)低于8級，其他光單元生產(chǎn)車間應(yīng)為清潔廠房。
生產(chǎn)廠房潔凈區(qū)空氣潔凈等級應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)環(huán)境要求確定。
空氣凈化系統(tǒng)宜采用上送測回或上送上回的送回風(fēng)方式。
生產(chǎn)中產(chǎn)生有害氣體的工藝或設(shè)備應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)或凈化裝置。
光纖廠房的生產(chǎn)環(huán)境應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求，各生產(chǎn)房間的潔凈度等級和溫度、相對濕度應(yīng)按本規(guī)范表4．1．5的規(guī)定取值。
新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理，新風(fēng)機(jī)組風(fēng)機(jī)應(yīng)變頻控制，并應(yīng)設(shè)置壓差報(bào)警。
新風(fēng)機(jī)組冷凍水供回溫度宜為6℃～12℃，循環(huán)機(jī)組冷凍水供回溫度宜為10％～16℃；加熱盤管宜采用熱水為熱媒。
初效、中效、高效三級空氣過濾器可布置在空氣處理機(jī)組內(nèi)。
拉絲間凈化空調(diào)的氣流組織應(yīng)符合下列要求：
1 拉絲間凈化空調(diào)宜分層設(shè)置風(fēng)口，每層宜采用上送下回的方式；頂層可采用側(cè)送上回的方式。
2 當(dāng)拉絲塔設(shè)備配置了封閉的高潔凈度的凈化空氣循環(huán)系統(tǒng)時(shí)，宜采用分層側(cè)送側(cè)回方式。
在確定拉絲間凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)量時(shí)，應(yīng)計(jì)算每層工作平臺(tái)的工藝設(shè)備發(fā)熱量。
拉絲塔設(shè)備的紫外固化裝置送、排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)符合下列要求：
1 送風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，不得抽取室內(nèi)凈化空調(diào)空氣作為送風(fēng)，空調(diào)器內(nèi)可設(shè)置表冷盤管、加熱盤管以及初效、中效及亞高效空氣過濾器，送風(fēng)機(jī)組的風(fēng)機(jī)壓頭應(yīng)計(jì)算工藝設(shè)備內(nèi)部阻力；送風(fēng)風(fēng)管應(yīng)核算風(fēng)管承壓能力。
2 排風(fēng)系統(tǒng)可高空排放。
3 熱排風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采用耐高溫耐高壓的材料。
4 涂覆揮發(fā)物排風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采用耐腐蝕的材料。
拉絲間應(yīng)設(shè)置排煙設(shè)施。 |
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