氣體管道工程可以分為很多種氣體:
(1)易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃。可燃易燃?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3。
(2)毒性氣體(Toxic Gas)：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性***大，它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas)：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
(4)惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性氣體(Oxide Gas)：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
實驗室特種氣體管道工程安裝有哪些標(biāo)準(zhǔn)：
1、所有氣體管道都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管SS-316L組成，銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴(yán)格的地方（比如通風(fēng)柜）
2、所有的管路、閥門、壓力表都由高質(zhì)量的不銹鋼構(gòu)成，并且都是標(biāo)準(zhǔn)配件。
3、根據(jù)實驗室的用氣量，計算供氣壓力、流量和管道的內(nèi)徑，所有氣體主管道原則上不低于9.52mm（3/8in，儀器空氣主管道直徑為12.7mm）。管路末端，原則上不低于6.35mm（1/4in，也可根據(jù)實際使用量而定）。
4、所有管路在天花板下面布設(shè)，并通過功能柱到中央臺。邊臺的氣體管路隱藏在實驗工作臺后面服務(wù)通道內(nèi)。
5、易燃?xì)怏w（如乙炔、氫氣等）需要和其他氣體分開，單獨引入。
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