ASM142氦質譜檢漏儀是法國ALCATEL-ADIXEN公司*新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質譜檢漏儀器。
氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小、重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。
二 系統配置:
ASM142氦質譜檢漏儀主要包括以下器件:
序號 設備名稱 序列號 數量
1 ASM142氦質譜檢漏儀主機（包括一臺機械泵、一臺分子泵、一個質譜室、信號放大器等儀器必須的部件。） T0R00000B810 一套
2 ALCATEL 200號油（1升/桶） 068694 1桶
3 燈絲 FILAMENT 053146 1備1用
三 技術規格:
靈敏度： 5.0×10-12mbar.l/s
漏率顯示范圍： 5 ×10-12 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He)
達到檢漏的時間（空盒時）： 小于30秒
發射電流顯示： 0.2—2mA
檢漏口對氦氣的抽速： 1.3升/秒
啟動時間： 小于3分鐘
接口尺寸: DN 25 KF
外觀尺寸： 510′343′428mm
重量： 56Kg
電源： 220V 50Hz 單相
符合美國真空標準AVS2.1 以及國際標準ISO3530的標準。內置式標準漏孔，帶自動溫度補償系統。開機3分鐘后完成全部準備工作。數顯工作界面；數字顯示漏率，帶音頻報警。所有工作參數可以通過菜單設定和修改。可以設置報廢點。質譜室自動保護：有效防止大氣突然沖入對燈絲及質譜室的損害。 |
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