復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，
可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。
ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。
因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。
藥品、食品業界及半導體業界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，
以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，
采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，
覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
郭186經0431理857 |
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