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污垢主要對多晶硅影響因素有哪些? 污垢主要對多晶硅影響因素有哪些?_四川翔光清洗技術有限責任公司_污垢主要對多晶硅影響因素有哪些?

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公 司: 四川翔光清洗技術有限責任公司
發布時間:2017年12月28日
有 效 期:2018年06月29日
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電  話: 028-62411898
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公 司:四川翔光清洗技術有限責任公司

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詳細說明

    污垢主要對多晶硅影響因素有:
1、油脂:在多晶硅生產過程中,油分子對多晶硅的危害十分嚴重。實際證明,整個工藝系統幾ppm的油含量就可能造成多晶硅反應速度減慢,產量降低,甚至硅反應停止。因此,多晶硅設備的脫脂工藝尤為重要。
2、水分:水中含有大量的氯離子,氯離子對多晶硅的反應十分敏感。設備及系統干燥工藝很關鍵。
3、氯離子殘留:水和其他溶液在設備表面殘留的氯離子對多晶硅影響十分大。因此,在清洗后對設備進行純水沖洗工藝十分重要。
4、氧化物、灰塵其他雜質:其他污垢的存在,對多晶硅的生產影響也很大。因此,在設備清洗過程中,采用酸洗工藝對其他污垢進行清洗十分必要。
詳情咨詢:四川翔光清洗技術有限責任公司 技術部


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