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公 司: 蘇州列克勤新能源有限公司
發布時間:2019年04月12日
有 效 期:2019年10月12日
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公 司:蘇州列克勤新能源有限公司

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多晶硅硅料回收后的清洗方法,將多晶硅硅料置于混合酸液中進行避光浸泡1分鐘~10分鐘,混合酸液溫度為30℃~35℃,后撈取,用純水沖洗,再經超聲沖洗、壓縮空氣鼓泡后烘干;混合酸液為腐蝕液,配比為硝酸∶氫氟酸∶冰乙酸的溶液體積比為57∶18∶25;硝酸濃度為68%~72%,氫氟酸濃度為38%~41%,冰乙酸濃度為99.8%~99.9%;純度等級為MOS級或UP級。將多晶硅硅料置于混合酸液中避光浸泡前,可以在氫氟酸液中進行避光預浸泡,也可以先在溶解光阻的溶劑中進行避光浸泡。用本方法清洗的多晶硅硅料,表面光潔,無酸漬、水漬,其優點為清洗效果好,清洗成本低,操作難度低,易于控制清洗質量,提高了清洗收率。


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