產品概述: Circuit Scan® 1000磁掃描顯微鏡
工作狀態中的半導體芯片會在器件表面附近產生外界磁場。這些磁場，雖然強度弱，卻包含了芯片中電流強度的空間變化信息。微磁公司開發的CS1000可以實際分析應用這些信息，非損壞性地向工程技術人員展示芯片內部的工作情況。
CS1000是一臺磁掃描顯微鏡。它可以捕獲工作狀態中的芯片產生的外界磁場，并對這些磁場進行分析，展示出電流強度的分布圖像，其空間分辨度在幾十個納米級別。該系統采用具有知識產權，超敏感，高空間分辨率的亞微米級的磁傳感器技術。這一技術最初由布朗大學的納米物理及器件研究小組開發成功。
CS1000可以穿過絕緣體或非鐵磁層繪制極小數量級的電流圖像。它對芯片中電流信號具有非常好的線形關系。擁有知識產權的磁傳感器具有寬范圍的頻率響應（0－5GHZ)和好的溫度特性，不需要特殊的環境要求。另外，CS1000具有杰出的空間分辨度，截至目前，空間分辨度可以達到60納米，遠遠小于目前半導體工業中先進的器件內部的導線寬度。
CS1000一些標準配置及功能，包括光學導航或近紅外線導航，感興趣區域的選擇，磁場和電流強度圖像的自動重疊，樣品表面探測和繪圖，樣品傾斜度和輪廓曲線自動修正，五種不同的接觸和非接觸掃描模式，1個小接觸面積的垂直磁傳感探頭，光學圖像的自動彌合，自動變化測量參數的"重復掃描"功能，以及一整套自動矯正功能。
該系統同時包括一套獨立的功能強大的VISTA分析軟件，該軟件具有靈活的數據展示方式及解釋形式。一套量化分析軟件用于擇取所有的與電流參數相關的信息（包括電流幅度和導線寬度及深度），2套強大的電流強度轉換算法，壓縮數據文件類型，數據圖像輸出為常見文件類型，一套圖像對比軟件以及磁場圖，電流圖，和光學圖的自動疊加功能。
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