MM60是*新型FPD檢查顯微鏡,專為LCD行業TFT玻璃COG導電粒子檢查以及6英寸及以下的集成電路硅片在線檢查和實驗室分析設計.具有成像清晰,工作距離長,使用便利,應用軟件豐富的特點.是一款性價比非常優秀的半導體及微電子工業與科研用顯微鏡. 其微分干涉效果可與進口品牌相媲美.
1,顯微鏡觀察方法：各個倍數下均可以進行明場，簡易偏光觀察,微分干涉觀
察,各倍率成象清晰度好. 可作透射與反射照明觀察;
2,機械結構：正置式 三目鏡筒 傾角30¡ 帶Ｃ型數碼接口
3,光學系統: 無限遠光學系統
4,物鏡種類: 無限遠光學,長工作距離平場消色差,確保目鏡視場為22mm 時
各個鏡頭視野平坦.
5,物鏡數量和參數:
1) LWDPLAN 5X: 數值孔徑(N.A) 0.14, 工作距離:20.5mm
2) LWDPLAN 10X: 數值孔徑(N.A) 0.25, 工作距離:16mm
3) LWDPLAN 20X: 數值孔徑(N.A) 0.40, 工作距離:7.8mm
4) LWDPLAN 50X: 數值孔徑(N.A) 0.55, 工作距離:7.9mm
5) LWDPLAN 100X: 數值孔徑(N.A) 0.80, 工作距離:3mm
6,目鏡: 10X,視場直徑(F.N) 22mm,瞳距和屈光度可調,
7,光學有效放大倍率: 50X-1000X(物鏡倍率X 目鏡倍率)
8,照明器:
1)反射柯勒照明,包含3W 長壽命LED 燈泡;亮度可連續調節;
2)帶視場光闌(FS)和孔徑光闌(AS)
3)濾色片:內裝藍色,黃色,綠色,中灰四種
4) 4"或6¡ 機械平臺,X,Y 方向移動行程:110mm X 105 mm；可放置標本*大高度為:33mm;
9,調焦機構: 同軸粗微調,微調*小刻度1 微米, 含三級調焦機構:微調,粗調及張力調節環.； |
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