VOCs監測子系統主要由采樣探頭、伴熱管線、預處理單元、電控單元、VOCs分析儀及輔助系統組成，測量時煙氣由機柜內的外置高溫泵抽取，經由采樣探頭、伴熱管線、除塵過濾器后通入VOCs分析儀進行測量，儀表的輔助系統包括零氣發生單元、氫氣發生器及標氣等。
數據采集與處理子系統由工控機和有機廢氣在線監測系統監測軟件構成。有機廢氣在線監測系統監測軟件安裝在外置工控機內，用于監測和匯總所有的氣體濃度信息和工作狀態信息，同時生成報表、存儲數據、記錄歷史數據、與環保部門聯網通信等功能。
VOC氣體分析儀采用高溫伴熱雙柱并聯反吹色譜分離技術，可以自動測量和分析甲烷和總烴的含量，通過總烴和甲烷含量的差值計算得到非甲烷總烴的含量，大大縮短了分析周期，同時針對高沸點非甲烷總烴研制的高溫伴熱技術大幅度減少了高沸點非甲烷總烴的色譜峰展寬，允許儀表對高沸點物質進行精確地測量，甚至在高濃度非甲烷總烴存在的情況下也可以進行該操作。
常用VOC氣體分析儀是一款甲烷非甲烷總烴分析儀，除了具有常規色譜儀的分離和測量系統外，VOC氣體分析儀提供了靈活的觸摸屏式操作軟件、自動校準和測量功能。另外，VOC氣體分析儀還具有以下幾個特點：
采用EPC技術進行載氣壓力控制，控壓精確穩定，控壓精度優于±0.05kPa。
采用EFC技術進行氫氣和空氣流量控制，控流精度優于0.5%F.S.。
柱箱控制精度優于±0.1℃。
采用低維護的隔膜泵和定量環進行定體積采樣。
采用進口VALCO十通閥/六通閥，維護量低，使用壽命長。
采用雙柱并聯反吹技術分析非甲烷總烴，減少峰展寬，縮短分析時間。
采用微型的FID檢測器，對甲烷和總烴響應較為靈敏。
內置標準工業PC機，高清晰彩色液晶觸摸顯示屏，采用優秀的人機交互控制軟件界面，基于微軟視窗操作系統，可實現全系統的自動無人運行。用觸摸屏可完成所有的維護及診斷功能操作，還可對儀器參數和分析方法進行編輯和設置，可實時顯示儀器運行狀態、色譜圖及結果等。自動存儲數據及圖譜，儲存時間長達(6~8)年。
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