EAP系統控制半導體設備進行自動化生產,與MES系統整合,校驗產品信息,自動做賬,同時收集產品生產過程中的制程數據和設備參數數據,幫助提高半導體工廠的生產效率,避免人工操作失誤,提供產品良率。
系統組成包含設備通訊模塊、MES通訊模塊、系統流程控制模塊等。
EAPwell 系統可通過半導體標準SECS/GEM協議,利用自有的SECS Driver對制造和量測設備進行自動化控制,極大杜絕手工作業帶來人為錯誤,提高設備效能和產品良率 。
EAPwell系統功能點
與MES系統整合,自動校驗產品生產信息和Recipe,自動做賬(Track In/Track Out)。
與設備控制系統整合,Load/Unload Cassette, 選擇Recipe,控制設備自動進行生產,同時跟蹤產品整個的生產過程。
支持與RMS、APC系統整合,校驗Recipe參數和微調Recipe參數。
支持與FDC系統整合,實時采集生產過程中的制程數據和設備參數數據。
實時采集設備狀態數據和警報信息。
通過嵌入EAP Daemon或設備改造,支持非標半導體設備接入EAP系統從而達到自動化生產。
提供EAP Monitor工具監控、維護EAP系統。
EAP平臺介紹
EAP平臺框架封裝了和設備之間的通訊,預先支持SECS、PLC、OPC等通訊協議,以及和上層系統MES、APC、FDC等之間的通訊,支持RV、MQ,WCF,Web Service等消息中間件。
提供大多數數據庫平臺支持,日志管理,Workflow機制,以及軟件自動升級,Loading Balance和Failover的功能,方便客戶在其豐富功能的基礎上專注于業務邏輯的開發,提高開發效率,節省上線時間。
而且平臺還提供方便的日志分析、軟件部署、軟件升級等功能,方便維護人員后續對系統進行維護。在其基礎之上,Glorysoft開發了EAPwell、BCwell、APCwell,MCSwell等軟件產品。
EAPwell 特點
1、服務器模式
EAP Server以服務器模式運行,控制設備自動化跑貨
Backup Server和Failover機制保證EAP Server不Down機
升級和部署不需要重啟EAP Server
2、EAP Monitor
Monitor工具可實時監控EAP Server運行狀態
Monitor工具可實時更新EAP邏輯而不需要重啟,無需要Down機時間
Monitor工具可方便系統維護 Monitor工具可方便查找系統問題
3、開發工具
易用的開發工具方便系統開發
Workflow機制保證系統的擴展性 |
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