Model ESR系列
抽氣速度：1,300 – 30,000L/min ESR系列是新研發的應用廣泛的羅桿式干式真空泵，對于L/L，SEM等較輕負荷的制程和腐蝕性制程都可以使用。
性能上具有 排氣速度可調節，高通信處理功能，從而適應了省功耗，占地面積小，重量輕的工藝要求。
特點:
● *適合用于輕負荷的制程及腐蝕性氣體制程
● 較低的運行成本，省功耗，*大可節省60%（與本公司Model AA系列相比較）
● 無需N2來做軸密封（Model ESR20N）
● 小型化，重量輕，*大減少40%（ 與本公司Model AA系列相比較）
● 增加泵的轉速控制 ● 高性能的通信機能
● 采用高度控制泵的運轉方式
Model ESA系列
抽氣速度：30,000L/min 適合輕制程 Model ESA系列是新研發的獨特干式真空泵，具有優 越的高速排氣性能，從而適應了LCD濺射制膜 裝置，真空干燥制程，大型 L/L等工藝要求。并擁有高附加價值，對應氣體 負荷自動控制轉速，高通信功能等。
特點:
● *適用于大型真空反應室的高速排氣
● 具有高性能通信機能
● 轉速自動調節功能
● 采用高度控制泵運轉方式
● 采用大口徑轉子，設計上完美小型
● 不產生真空泵大型化所引起的搬運性能降低
● 也可用于有機溶劑排氣上用的特別規格
以上產品主要適用于半導體行業，真空鍍膜設備，太陽能光伏PECVD設備等相關行業 |
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