光氧催化廢氣處理的大體過程為惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。同時，利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅細菌的目的。光氧催化氧化的特點: (1)光氧催化適合在常溫下將廢臭氣體完全氧化成無毒無害的物質，適合處理高濃度、氣量大、穩定性強的有毒有害氣體的廢氣處理。（2）有效凈化徹底：通過光氧催化可直接將空氣中的廢臭氣體完全氧化成無毒無害的物質，不留任何二次污染。（3）綠色能源：光氧催化利用人工紫外線燈管產生的真空波紫外光作為能源來活化光氧催化劑，驅動氧化—還原反應，而且光氧催化劑在反應過程中并不消耗，利用空氣中的氧作為氧化劑，有效地降解有毒有害廢臭氣體成為光氧催化節約能源的*大特點。（4）氧化性強：半導體光催化具有氧化性強的特點，對臭氧難以氧化的某些有機物如三氯甲烷、四氯化炭、六氯苯、都能有效地加以分解，所以對難以降解的有機物具有特別意義，光氧化化的有效氧化劑是羥基自由基（OH-）和超氧離子自由基（O2-、0-），其氧化性高于常見的臭氧、雙氧水、高錳酸鉀、次氯酸等。（5）廣譜性：光氧催化對從烴到羧酸的種類眾多有機物都有效，即使對原子有機物如鹵代烴、染料、含氮有機物、有機磷殺蟲劑也有很好的去除效果，只要經過一定時間的反應可達到完全凈化。（6）壽命長：在理論上，光氧催化劑的壽命是無限長的，無需更換。
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