曝光機光學玻璃對品質的要求很高，在圖型轉移的制程中非常重要，它要求紫外線透光率、平行度、強化硬度、平面清潔純度等一系列光學參數。本公司引進先進的激光儀器、超聲波儀器、精雕機和研磨機器等先進設備，同時擁有資深級的技術人員，能及時為客戶解決方案。
可根據客戶的要求或提供的圖紙，樣品定做特殊規格、不同槽位和不同孔位的曝光機配備的光學玻璃，同時可按需進行特殊強化處理或鋼化處理使其達到耐高溫及耐壓強的要求。 
●適用于：
ORC曝光機玻璃 
HAKUTO曝光機玻璃 
OLEC曝光機玻璃 
BACHER曝光機玻璃
ONO SOKKI曝光機玻璃
AUTOMA-TECH曝光機玻璃 
C-SUN曝光機玻璃 
CBT曝光機玻璃等等......
●產品主要技術指標：
a)規格：圓片外徑從15mm到300mm，內徑從5mm到150mm；方片從20×20到300×300；拋b)光產品厚度從0.3到25mm。
c)長、寬尺寸允差：≤ 1mm
d)內外徑同軸度：φ30mm內 ≤0.01mm；φ150mm內≤ 0.1mm
e)內孔允差：φ30mm內 ≤ 0.03m；φ150mm內≤ 0.2mm 
f)外徑允差：± 0.02mm
g)厚度允差：± 0.1mm
h)面精度：客戶要求
i)雙面平行差： ≤ 3μm,表面光潔度：O級
j)表面粗糙度：0.4nm以下
k)產品測試儀器精度
干涉儀：≤1λ/20
表面粗糙度檢測儀：≤0.01nm
圓度儀：≤0.001mm
曝光機亞克力框
可提供以下型號：
1、EXM-1350上框； EXM-1350玻璃底片框； EXM-1350下對位框；
EXP-2050上框； EXP-2050玻璃底片框； EXP-2050下對位框；
2、Hakuto3510、5010、5020、5080曝光機用光學亞克力；
3、Onosokki EV2100曝光機用光學亞克力；
4、Hitech HTE-5300曝光機用光學亞克力；
5、所有ORC、OLECE、群翊、CBT、志圣、多普等機臺的亞克力框； |
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