硅片倒片機
品牌：《南軒電子》本公司可以設計制造半導體清洗工藝過程中,清洗硅片時的倒片機,該設備可在倒（槽間倒片用）二籃、三籃、四籃、多籃等硅片時使用。設備大大提高了硅片清洗效率。
四槽自動硅晶清洗設備
品牌《南軒電子》：◆ 可根據不同的清洗工藝配置各種相應的清洗功能槽。 ◆ 功能槽包括：加熱酸缸、HF腐蝕、BHF（HF恒溫緩沖腐蝕）、超聲清洗槽、恒溫水浴、QDR（快排沖水）、電爐等。 ◆ 清洗功能槽模塊化，各部分有獨立的控制單元，可隨意組合。 ◆ 關鍵件采用進口部件，提高設備的可靠性及使用壽命。 ◆ 采用進口耐腐蝕PP板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蝕。 ◆ 控制系統的元器件具備防腐、防潮功能，確保安全的工作環境。 ◆ 結構緊湊，占地面積小，造型美觀、實用。 ◆ 操作符合人機工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、靈活。 ◆ 閉式清洗，有效改善工作環境，保障操作人員安全。劃片后清
品牌：《南軒電子》清洗機設備主要功能部件有：箱體部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超聲/兆聲槽、石英管滾動系統、噴淋系統、機械手部分、貯藏柜、排風裝置、給（排）水管路、抽風系統和電氣控制系統等。采用全自動控制式,通過觸摸屏設定參數來選擇清洗工藝,操作便捷. |
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