硅片倒片機(jī)
品牌：《南軒電子》本公司可以設(shè)計(jì)制造半導(dǎo)體清洗工藝過(guò)程中,清洗硅片時(shí)的倒片機(jī),該設(shè)備可在倒（槽間倒片用）二籃、三籃、四籃、多籃等硅片時(shí)使用。設(shè)備大大提高了硅片清洗效率。
四槽自動(dòng)硅晶清洗設(shè)備
品牌《南軒電子》：◆ 可根據(jù)不同的清洗工藝配置各種相應(yīng)的清洗功能槽。 ◆ 功能槽包括：加熱酸缸、HF腐蝕、BHF（HF恒溫緩沖腐蝕）、超聲清洗槽、恒溫水浴、QDR（快排沖水）、電爐等。 ◆ 清洗功能槽模塊化，各部分有獨(dú)立的控制單元，可隨意組合。 ◆ 關(guān)鍵件采用進(jìn)口部件，提高設(shè)備的可靠性及使用壽命。 ◆ 采用進(jìn)口耐腐蝕PP板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蝕。 ◆ 控制系統(tǒng)的元器件具備防腐、防潮功能，確保安全的工作環(huán)境。 ◆ 結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，造型美觀、實(shí)用。 ◆ 操作符合人機(jī)工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、靈活。 ◆ 閉式清洗，有效改善工作環(huán)境，保障操作人員安全。劃片后清
品牌：《南軒電子》清洗機(jī)設(shè)備主要功能部件有：箱體部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超聲/兆聲槽、石英管滾動(dòng)系統(tǒng)、噴淋系統(tǒng)、機(jī)械手部分、貯藏柜、排風(fēng)裝置、給（排）水管路、抽風(fēng)系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)等。采用全自動(dòng)控制式,通過(guò)觸摸屏設(shè)定參數(shù)來(lái)選擇清洗工藝,操作便捷. |
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