在對低溫等離子凈化設備進行維護的過程中所需要花費的資金也是比較少的，而且設備只要是正常的使用是不容易出現損壞的。
低溫等離子凈化設備氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限；電子束照射技術僅有一非常窄的氣體流速范圍。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，其應用廣泛不言而喻。
低溫等離子凈化設備工藝簡單，吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；聯合催化法中，催化劑存在選擇性，某些條件(如溫度過高)會造成催化劑失活，光催化法只能利用紫外光等；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。
低溫等離子凈化設備則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，并可同時消除混合污染物，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子凈化設備本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。
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