FS4000氣體質(zhì)量流量傳感器采用世界領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)（DMEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁慷趸急O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003氣體質(zhì)量流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍*大到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍*大到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè)，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等
FS4008產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
產(chǎn)品特點(diǎn):
性能參數(shù) FS4003 FS4008 單位
通 徑 3 8 mm
*大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 100:1
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重復(fù)性 0.75 %
零點(diǎn)輸出飄移 ±30 mV
輸出飄移 0.12 %/oC
響應(yīng)時(shí)間 100 ms
工作電源 8~18Vdc,100mA
輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
*大流量壓損 100 600 pa
*大工作壓力 0.5 MPa
工作溫度 -10 ~ +55 oC
存儲(chǔ)溫度 -20 ~ +65 oC
工作濕度 <95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機(jī)械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量 57（帶R1/4,BSPT1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭) |
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