去離子水（deionized water）是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。
在半導體行業中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。
用途：
1、實驗室、化驗室用水，一般實驗室的常規試驗、配置常備溶液、清洗玻璃器皿等；
2、電子工業生產，如顯像管玻殼、顯像管、液晶顯示器、線路板、計算機硬盤、集成電路芯片、單晶硅半導體等；
3、電力鍋爐，鍋爐所需軟化水、除鹽；
4、汽車、家用電器、建材表面涂裝、電鍍、鍍膜玻璃清洗等；
5、石油化工行業，化工反應冷卻水、化學藥劑、生產配液用水等；
6、工業紡織印染、鋼鐵清洗用水等；
7、食品、飲料、酒類、化妝品生產用水；
8、海水、苦咸水等凈化……
處理步驟：
從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：
1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質
2、然后高壓通過反滲透膜
3、*后一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物
4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程*高電阻率可達到18兆。
相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水
新型設備：
目前被廣泛應用的EDI系統就是現在*為熱門的新型電除鹽系統，它取代傳統離子混床裝置成為純水行業的新星。EDI系統不但彌補了傳統工藝的缺陷簡化工藝步驟，而且還提高生產效率；不論是從設備本身的性能，還是經濟投資方面都比傳統的去離子水設備更具優勢。 |
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