FIB測試，SEM測試: 選擇專業 專注 中天檢測 聯系：186 6582 7199
FIB測試，SEM測試
型號/規格
FIB測試
品牌/商標
FIB測試
企業類型
制造商
新舊程度
全新
原產地
FIB測試
FIB測試，FIB檢測，
FIB 是英文 Focused Ion Beam的縮寫,依字面翻譯為聚焦離子束.簡單的說就是將Ga(鎵)元素離子化成Ga+, 然后利用電場加速.再利用靜電透鏡(electrostatic)聚焦,將高能量(高速)的Ga+打到指定的點. 基本原理與SEM類似,僅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)FIB聚焦離子束是針對樣品進行平面、界面進行微觀分析。檢測流程包括：樣品制定、上機分析、拍照等，*后提供界面相片等數據。
主要用途：
1、電路修正, 用于驗證原型,改善bug，節省開支，增快上市時間。
2、縱面的結構分析可直接于樣品上處理,不需額外樣品準備。
3、材料分析-TEM樣品制備,用于精確定點試片制作,減低定點試片研磨所需人員經驗的依賴。
4、電壓對比、用于判定Metal(Via/Contact)是否floating。
5、Grain(晶粒)形狀大小的判定
SEM測試，SEM檢測。
1. 原理 
SEM的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品，在樣品表面激發出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關，也就是說與樣品的表面結構有關，次級電子由探測體收集，并在那里被閃爍器轉變為光信號，再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制熒光屏上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。
2. 性能
設備能夠滿足可以觀察直徑為0～200mm（8〞wafer）的試樣。     
放大倍率：×5～×300,000
設備能夠滿足可以觀察直徑為0～200mm（8〞wafer）的試樣。     
放大倍率：×5～×300,000
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