產品名稱：微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀
產品型號：ZLM800
產品產地：德國
制 造 商：德國耶拿爾測量技術有限公司
詳細介紹:
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量，角度變化量的監(jiān)測，移動平臺運動情況的檢測，及光刻機幾何量的測量，數控機床幾何量的測量，最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。具有以下性能優(yōu)勢：
l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
l 全部部件皆在德國生產制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上唯一一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。
l 計算機輔助光路調整，調整結果更準確。
l 采樣頻率更快，*高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l 被測物體*大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。
l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l 對于多軸聯(lián)動的復雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。 |
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