等離子體指部分或完全電離的氣體，且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消，宏觀上呈現中性電。等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。
與傳統的方法相比，等離子體表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優點，同時可以得到傳統的化學方法難以達到的處理效果。現在低溫等離子設備廣泛運用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域。
等離子設備中頻，射頻等離子處理機型；處理方式有水平、垂直、卷式RTR、轉鼓等真空等離子處理設備和噴射、準輝光、隧道、水平線多種常壓等離子處理設備；
等離子處理機具有高穩定性、高性價比、高均勻性等諸多優點。
特色鮮明的處理腔體形狀和電極結構可以滿足不同形狀、不同材質的表面處理要求，包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。 |
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