上海茂竺（上海茂索）的特氣設(shè)備有特氣柜(Gas Cabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測(cè)器（Gas Detector），廢氣處理器(Scrubber)以及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺(tái)（CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。
上海茂竺（上海茂索）公司還提供特氣設(shè)備的安裝服務(wù)、特氣系統(tǒng)的二次配管及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺(tái)的安裝、化學(xué)品供應(yīng)管道的配管等高潔凈要求的業(yè)務(wù)。
從日本、歐美等發(fā)達(dá)國(guó)家進(jìn)口的電子級(jí)材料，如EP級(jí) （BA級(jí)、AP級(jí)）不銹鋼管道（Tube，SS316L,SS304,或稱電子級(jí)管道、超高純管道、潔凈管道），隔膜閥（Diaphragm Valve）, 減壓閥（Regulator，或稱調(diào)壓閥）,過(guò)濾器（filter，0.003μm），fitting（Gland ,Tee …）等等超高純特殊氣體系統(tǒng)中必需采用的各類零部件。同時(shí)，提供危險(xiǎn)氣體的泄漏探測(cè)器（探測(cè)系統(tǒng)）及一般氣體的濃度偵測(cè)等服務(wù)。適合特殊氣體的控制和輸送的設(shè)備。被廣泛應(yīng)用到太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線及微電子領(lǐng)域。 |
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