R-14制冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等，中文名稱四氟化碳、四氟甲烷，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14屬于FC類物質——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應；目前對于R14制冷劑的生產、銷售以及在新制冷設備上的初裝、售后設備上的再添加均沒有限制。
R-14主要用途
R-14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應用于要求溫度非常低的深冷設備中（包括科研制冷、醫用制冷等），R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微電子工業中用量*大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
R-14物化性質
冷媒名稱R14
分子量 88.0
沸點（1atm），℃ -128
臨界溫度，℃ -45.67
臨界壓力，kPa 3740
飽和蒸氣壓（25℃），kPa 3650（-45.6℃）
汽化熱/蒸發潛熱（沸點下，1atm），kJ/kg
破壞臭氧潛能值（ODP） 0
全球變暖潛能值(GWP，100 yr) 5700
ASHRAE安全級別 A1（無毒不可燃）
R-14冷媒包裝
可重復使用高壓鋼瓶包裝（需回收包裝鋼瓶）：8kg/瓶，30kg/瓶。
R-14儲存、運輸
R-14制冷劑鋼瓶為高壓容器，儲存時應遠離火種、熱源、避免陽光直接曝曬，通常儲放于陰涼、干燥和通風的倉庫內；搬運時應輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門等附件破損。 |
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