氧氣的工業用途的整套系統由以下部件組成：壓縮空氣凈化組件、空氣儲罐、氧氮分離裝置、氧氣緩沖罐；如需灌鋼瓶，末端加裝氧氣增壓機及充瓶裝置。
變壓吸附制氧機是以沸石分子篩為吸附劑，利用加壓吸附，降壓解吸的原理從空氣中吸附和釋放氧氣，從而分離出氧氣的自動化設備。沸石分子篩是一種經過特殊的孔型處理工藝加工而成的，表面和內部布滿微孔的球形顆粒狀吸附劑，呈白色。其孔型特性使其能夠實現O2、N2的動力學分離。沸石分子篩對O2、N2的分離作用是基于這兩種氣體的動力學直徑的微小差別，N2分子在沸石分子篩的微孔中有較快的擴散速率，O2分子擴散速率較慢。壓縮空氣中的水和CO2的擴散同氮相差不大。*終從吸附塔富集出來的是氧氣分子。
低溫空分制氧設備工作原理
空氣從大氣吸入，經過濾器過濾后，進入空氣壓縮機，經逐級壓縮冷卻后，進入空氣預冷系統進行預冷，并通過水分離器分離出空氣中的游離水，然后進入純化系統清除空氣中的水份、二氧化碳及大部分的碳氫化合物等。
凈化后的空氣進入分餾塔冷箱中的板翅式熱交換器，與返流的氧氣、氮氣和污氮氣進行熱交換，然后一部分空氣從熱交換器中部抽出進入透平膨脹機進行膨脹制冷，膨脹后的低溫空氣部分進入上塔，另一部分旁通進入污氮管道；其余空氣從板翅式熱交換器底部抽出，經節流后送入下塔參加精餾。
在下塔中，空氣被初步分離。頂部為純氮氣，底部為富氧液空。富氧液空從下塔底部抽出，經過冷器過冷后送入上塔中部。下塔頂部的氮氣被冷凝蒸發器冷凝為液氮后，一部分回下塔，作為下塔的回流液；另一部分經過冷器過冷后，節流進入上塔頂部，作為上塔精餾段的回流液。
經過上塔精餾，*終在上塔下部得到純氧氣。氧氣經過換熱器復熱后作為產品氣排出分餾塔外，被送入氣囊，再經氧壓機壓縮，充瓶或另作它用。
氮氣從上塔頂部抽出，經液氮液空過冷器、熱交換器復熱后，排出分餾塔外，經工藝管線送往用戶或由氮氣壓縮機增壓后灌入鋼瓶銷售。
污氮氣從上塔污氮口抽出，經熱交換器復熱后，部分作為純化器再生氣，其余放空。廣州市花都區柏林氣體供應站主要經營：氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、氦氣、二氧化碳、乙炔、混合氣等工業氣體；
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