質量流量控制器bronkhorst
50毫秒內完成穩定的控制響應
精確、穩定的流量取決于控制響應速度,艾里卡特®質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值。快速、可重復、穩定!
擁有可靠的穩定性及響應速度,艾里卡特®質量流量控制器總是一擊擊中,為全球*快的質量流量控制器!采用艾里卡特®專利的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合,使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼。
操作便捷
50-100毫秒控制響應
允許用戶自行調節PID以獲得*完美的速度和穩定性
定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩定性
同一臺設備控制質量流量、體積流量或絕對壓力
瞬間啟動、無需預熱:1秒內即可開始流量控制
MC 標準系列
全球控制響應*快、*穩定的流量控制器。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球獨一無二的無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。
MCW / MCRW 低壓損系列
*大限度減小壓損對系統的影響,滿量程壓損*低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環境氣體分析等應用的完美選擇;
*大量程:0-500 slpm。
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。
MCE / MCV 半導體行業專用系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,專門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。*大量程:0-20 slpm.
MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列
全球首創雙向質量流量控制器,可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。
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