高純鈦靶
化學(xué)符號(hào):Ti
純 度:4N,5N
規(guī) 格:Φ50.8*5、Φ76.2*5其他規(guī)格可根據(jù)客戶(hù)需求定做!
原子量:47.867
密度:4.5g/cm3
熔點(diǎn):1700℃
沸點(diǎn):3287℃
臨界溫度:4350℃
電阻率/μΩ.cm:43~47
線(xiàn)膨脹系數(shù)/℃-1:8.5×10-6
汽化溫度/℃:1577
電阻溫度系數(shù)/℃-1:3.50×10-3
波長(zhǎng)/nm:630
折色率n:2.9
消光系數(shù)k:3.3
反射率/%:55.6
蒸發(fā)溫度:飽和蒸汽壓為1.33Pa時(shí)為1750
蒸發(fā)源材料:(W、Ta)(絲、片),(C、ThO2)坩堝
特點(diǎn):機(jī)械強(qiáng)度大,有良好的可塑性,容易加工,有良好的抗腐蝕性能。
用途:主要用作半導(dǎo)體材料和超高真空裝置中的吸氣材料。
注:
靶材形狀:板材,圓片,矩形,方形,圓環(huán),圓管,臺(tái)階圓片,臺(tái)階矩形,其他規(guī)格根據(jù)客戶(hù)要求定做. 提供規(guī)格的銅靶托、鉬靶托、鋁靶托、鈦靶托;提供金屬靶材,合金靶材,陶瓷靶材的背面金屬化服務(wù);提供金屬靶材,合金靶材,陶瓷靶材與靶托的綁定服務(wù)。
真空鍍膜材料,陶瓷濺射靶材,金屬濺射靶材,合金濺射靶材,高純鈦氧化物,陶瓷靶材,金屬靶材,合金,高純金屬,稀貴金屬,金銀鉑鈀,銦絲,錫絲,鋁絲,各種化合物靶材,IZO,AZO,ITO,IZO,氧化鋅,氮化鈦,二硼化鋯、鈦酸鍶,二硼化鈦,二氧化鉿,氧化鋁,氮化硼,氮化鈦,氮化硅靶、碳化硅靶,多晶硅靶、二氧化硅靶,鈦靶、鎳靶、鋁靶,銅靶、鋅靶、錫靶,鋯靶、鈷靶、金靶 |
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