MYCRO公司提供的SPS勻膠機SPIN150i、SPIN200i等系列產品,請您放心選購!
SPS勻膠機介紹
SPS勻膠機是專為MEMS、半導體、光伏和微流體等領域的科研或小批量生產而設計制造的的,適用于清洗、甩干、涂膠、顯影和刻蝕等多種工藝。
SPIN 150i本勻膠機機身采用全工程塑料制作,您可以根據自身需求選擇通用的α相NPP-H材質機型或高密度PTFE材質機型。
儀器簡介:
德國品質(配有防污染內襯,標配兩個大小吸盤,性能優于同類品牌)
SPIN150i單片勻膠機/旋涂儀具有廣泛應用,包括 甩干,沖洗,清潔,涂膠。臺式設計,無縫全塑料材質, 有天然聚丙烯(NPP)和聚四氟乙烯材質(PTFE)可選。有各種吸盤,適合樣品襯底5mm--160mm (or 6”) or 4"x4". 更大尺寸均有!!
技術參數:
*大樣品尺寸: 160mm
*大腔體直徑: 202mm
伺服控制馬達
程序數字處理控制器:
存儲50個程序,每個程序可設計99步菜單指令
轉速 1-12000 rpm
2 free programmable outputs (dry contacts)
儀器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm
各種樣品尺寸的臺式勻膠機(*大至1000mm!)
天然聚丙烯材質(Natural Polypropylene Models)
化學膠
注射 應用 VS. 型號 甩干 沖洗 清潔 刻蝕 手動涂膠 自動涂膠 顯影 樣品襯底尺寸
手動注射 SPIN150i *大至 160mm
(or 6") OR 4”x4”
SPIN150i-IND
SPIN200-NPP *大至 260mm
(or 8") OR 6”x6”
SPIN200-IND
自動注射 ACD200-NPP
ACD200-NPP-IND
手動注射 MCD300-NPP *大至 360mm
(or 12") OR 8"x8"
MCD300-NPP-IND
自動注射 ACD300-NPP
ACD300-NPP-IND
主要特點:
• *高轉速12000rpm而無振動
• 結構緊湊,臺式機
• 此勻膠機可以集成到其它系統中
• 無縫天然聚丙烯(NPP)材質適合多數化學膠體,清潔方便
• 對強腐蝕的化學試劑可選用聚四氟乙烯材質的勻膠機
• 大的操作面板使程序輸入簡便,即使戴上手套也可以操作
• 數字式處理控制器,可以精準,高重復性控制
• 大量程序可編輯,使復雜的涂膠工藝變的靈活
• Programmable Relays, allowing process controlled interfacing with external hardware
• 德國品質(配有防污染內襯,標配兩個大小吸盤,性能優于同類品牌) |
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