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公 司: 那諾中國有限公司
發(fā)布時間:2016年04月29日
有 效 期:2016年10月29日
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公 司:那諾中國有限公司

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詳細說明

    進口晶圓清洗機/生產(chǎn)研究用晶圓清洗去膠系統(tǒng)
兆聲清洗技術(shù)
LSC-4000兆聲大基片清洗系統(tǒng)概述:

*新技術(shù)的兆聲和清洗技術(shù)的發(fā)展,對MEMS和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的晶圓和掩模版清洗提供了*新的水平,可以幫助用戶獲得*干凈的晶圓片和掩模版。
NANO-MASTER提供兆聲單晶圓&掩模清洗(LSC)系統(tǒng),用于先進的無損兆聲清洗。可以適用于易受損的帶圖案或無圖案的基片,包含帶保護膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達到*優(yōu)化的清洗效果,兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。NANO-MASTER的專利技術(shù)確保了聲波能量均勻分布到整個基片表面,通過分布能量的*大化支持*理想的清洗,同時保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。
LSC系統(tǒng)提供了可控的化學(xué)試劑滴膠能力,這使得顆粒從基片表面的去除能力得以進一步加強。LSC和SWC系列一樣具備對點試劑滴膠系統(tǒng),可以*大程度節(jié)省化學(xué)試劑的用量的。滴膠系統(tǒng)支持可編程的化學(xué)試劑混合能力,提供了可控的化學(xué)試劑在整個基片上的分布。
通過聯(lián)合使用化學(xué)試劑滴膠和NANO-MASTER的兆聲清洗技術(shù),系統(tǒng)去除顆粒的能力得到進一步優(yōu)化。顆粒從表面被釋放的能力也因此得到提升,從而被釋放的顆粒在幅流的DI水作用下被掃除出去,而把回附的數(shù)量降到了*低水平。從基片表面被去除。如果沒有使用幅流DI水的優(yōu)勢,*先進的靜態(tài)可循環(huán)兆聲清洗槽會有更大數(shù)量的顆粒回附,并且因此需要更多的去除這些顆粒。
此外,NANO-MASTER的清洗機都還提供了一系列的選配功能。PVA軟毛刷提供了機械的方式去除無圖案基片上的污點和殘膠。DI水臭氧化的選配項提供了有機物的去除,而無須腐蝕性的化學(xué)試劑。我們的氫化DI水系統(tǒng)跟兆聲能量結(jié)合可以達到納米級的顆粒去除。根據(jù)不同的應(yīng)用,某些選配項將會進一步提高設(shè)備去除不想要的顆粒和殘留物的能力。
LSC系統(tǒng)能夠就地實現(xiàn)熱氮或異丙醇甩干。“干進干出" 一步工藝可以在我們的系統(tǒng)中以*低的投資和購置成本來實現(xiàn)
那諾中國|||進口晶圓清洗機/生產(chǎn)研究用晶圓清洗去膠系統(tǒng)


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