RTP快速退火爐主要技術參數
1
項 目
主要技術指標
數據
2
規格型號
CHY-T1100X-RTP
3
溫度控制
溫度點
1200℃
4
額定溫度
1100℃
5
穩定狀態溫度范圍
100～1000℃
6
溫度測量精度
±0.2℃
7
溫度控制重復性
±1℃
8
溫度控制精確度
±1℃
9
溫場均勻性
±2℃
10
溫度狀態工藝時間（S）
2～100（100～1000℃）
11
最快升溫速率
500℃/S
12
降溫速率（℃/S）
1～200（通氮氣，速率更快）
13
溫度控制模式
智能模糊全閉環控制
14
軟件功能
操控系統
NBD-101智能系統
15
用戶界面
中英文互換
16
工藝菜單編輯
觸屏式圖像操作界面
17
擴充端口
可擴充真空測控和FFC供氣
18
看門狗
系統進入死循環時關閉主控制器
19
熱電偶校準狀態檢測
軟件校準，方便準確，軟件分析傳感器狀態是否正常
20
超高溫狀態檢測
軟件檢測出溫度信息出現高溫異常時，切斷主回路
21
觸摸屏尺寸
7"LCD
22
物理指標
功率
15kw
23
額定電壓
AC380～400V，50Hz（60Hz定制）
24
傳感器類型
S型單鉑銠
25
反應腔室內徑尺寸
Φ100X200mm
26
式樣有效空間
3.5"
27
真空度
4.3×10-3Pa(外配分子泵）
28
抽氣端口尺寸
KF16（或Φ8mm寶塔嘴）
29
供氣口尺寸
Φ6.35mm雙卡套
30
冷卻方式
自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2)
31
外形凈尺寸（mm）
長920×深500×高560
32
重量
凈重65kg |
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