直接影響臭氧系統化學反應過程的因素包括：         
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1、 影響臭氧濃度和產率的因素：
空氣（富氧空氣或氧氣）的濕度、溫度、流量、壓力、發生器功率等條件都含導致臭氧濃度和產率的變化
2、 臭氧氧化難降解有機物的反映途經：
其一、臭氧通過親核或親電作用直接參加反應。具有直接氧化有機物、反應較慢、有選擇性、有直接氧化產物產生特征。
其二、臭氧在堿性環境等因素作用下，通過活潑自由基主要是·OH-與污染物反應，具有氧化有機物速度快、無選擇性、間接氧化產物特點。因為OH是臭氧基型鏈反應的引發劑：反映式為：O3+OH-
3、時間對臭氧氧化反應的影響：
實驗表明，通常接觸時間在臭氧濃度≥40mg/L時，為5～10分鐘為宜。時間過短、反應不徹底、給后續工藝帶來負擔，時間過長，如超過15分鐘，反應過頭出現色度加深現象且影響水處理效率。因此，應選擇合適的反應時間。
4、臭氧投放量對氧化反應的影響：
臭氧投放量對污染物去除有著重要的作用，在污染物濃度一定時，通常是臭氧投放量越大，去除效率越高，去除率增加，對于該有機廢水臭氧化*佳調試數據2.8～4.2mg臭氧/mg污染物。因此，處理難降解有機污染、高濃度和大產率都需要，高濃度和小產率顯然不適，低濃度和小產率更不適。
5、PH值對臭氧氧化反應的影響：
  （1）臭氧本身氧化能力強弱與PH值有關，臭氧分子中的氧原子本身具有強親電子或質子特征，直接表現出強氧化性能。臭氧在水中的分解速度隨PH值提高而加快。如果PH提高一個單位，臭氧分解大約會快三倍，從而產生更多的·OH，可見堿性條件下對產生強氧化性的·OH多么重要！
（2）廢水中有機物物理、化學性質與PH值有密切關系。
（3）臭氧吸收率與PH值有一定的關系，通常認為堿性條件吸收要優于酸性條件。
（4）PH值在全部臭氧氧化過程中的變化主要表現在中性（PH=7）或堿性（PH＞7）條件下，PH值隨氧化過程進行呈下降趨勢，其原因是有機物氧化成小分子有機酸醛類物質。因此，要加強臭氧氧化反應，應不斷進行PH值調節偏堿進行。
6、臭氧氧化特征的堿性環境形成條件：
臭氧氧化的溶液中：臭氧、臭氧+H2O2、臭氧+紫外線、臭氧+H2O2+紫外線幾種方式都可成為堿性化環境，針對不同難降解有機物特點可選擇工藝不同方式。
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