1．磁控管
正常時，燈絲電阻小于1Ω，燈絲與管殼間電阻∞，磁鋼不應開裂。磁控管損壞，有的表現為燈絲兩接線柱之間開路，有的表現為兩接線柱對外殼導電形成通路，有的則無法直接測量出來。磁控管損壞引起的現象有：微波爐運轉聲音小、不加熱，或燒電源保險、高壓保險、高壓二極管等。
2．高壓二極管
正常時，用萬用表Rx10k擋測量，正向導通(有一定電阻，150K歐左右)，反向截止(電阻無窮大)；用其他電阻擋測量正反向電阻均不通。高壓二極管損壞多為擊穿，即正反向都通。高壓二極管損壞引起的故障現象有：燒高壓保險，或微波爐運轉不加熱，微波運轉不加熱且噪音增大。
3．高壓電容
容量 0.8uF～1.2uF之間，電容器兩端子與外殼間電阻∞，內并聯有一只9MQ電阻。正常時，將指針萬用表置于Rx 10k擋，兩表筆分別接高壓電容兩極，測量之初有一定阻值但不高，然后逐漸上升到9MQ左右。實際維修中高壓電容故障相對低，常見損壞形式是極片或絕緣木打火，個別為失效或擊穿。高壓電容損壞引起的現象有燒電源保險管或高壓保險管、微波爐能運轉但不加熱等。
4．高壓變壓器
正常時，初級繞組電阻：約1.5～3Ω， 次級繞組電阻：約100～200Ω， 燈絲繞組電阻：小于1Ω， 各繞組對鐵芯的阻值：∞。高壓變壓器損壞多以高壓繞組匝間短路居多。損壞后引起的現象有：運轉電流增大，有異味，或運行不加熱、冒煙。
5．機械定時器／火力選擇器
正常時，測量電機兩端有阻值，順時針擰一下時間旋鈕，定時開關觸點導通。火力觸點在電機旋轉時，時通時斷。定時開關觸點損壞，引起整機不工作；火力開關觸點損壞引起微波爐運轉不加熱；電機損壞引起微波爐運轉加熱不停，或者運行不加熱、不停機。
6．門開關
門開關內含有幾個輕觸開關。在正常情況下，閉合開關時有微小的觸點轉換聲音。 損壞后的故障表現為：整機不工作，運轉不加熱，開門時燒電源保險管等。
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