電子級反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE）
名稱 反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC
化學式 C2H2Cl2
相對分子量 96.94
CAS號 156-60-5
理化性質 無色略帶刺激氣味液體，熔點－57℃，沸點48℃，密度1.265g/ml。易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物。與氧化劑能發生強烈反應。與酸堿需隔離存放。
主要用途:
高純度氯源，主要用于晶圓制造過程中加快硅片氧化和清洗爐管。是半導體、分立器件、微機電系統（MEMS）、光伏制造業所需的電子化學品。
產品標準:
項目Item 標準值Standard Value 項目Item 標準值Standard Value
純 度 99.999995%（7.5N） 錳（Mn）max 0.1ppb
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料
Dielectrics PMD/IMD TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
Low K Dielectrics 4MS ,OMCATS
High K Dielectrics TAETO (Ta2O5 Precursor )
TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)
TMA (Al2O3 Precursor)
Metal Gate and Interconnect Metal TDMAT (TiN Precursor )
TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
Low-Temp Nitride/Oxide HCDS
Diffusion POCl3
供應半導體化學氣相沉積材料，專業研發及製造各種先進 CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料。
CVD Precursor(化學氣相沉積材料)
TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/T |
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